圖面上的 10 μm 與 1 μm 到底在量什麼？
圖面寫 10 μm 或 1 μm，問的是切完之後的尺寸。ISO 230-2 的定位精度 A 只描述單軸：一台三軸銑床未補償時 X 軸約 20–33 μm，補償後單軸 A 落到 1.3–1.7 μm，兩軸球桿儀的定位公差仍約 10–13 μm。本文對照兩篇已發表機台試驗，說明兩級公差各對上哪一層。
機械加工
為什麼晶片圖案不能用銑刀切出來？
車、銑、鑽這些有幾何刃口的加工，極限不是「把刀磨利一點」。刀鼻半徑決定波紋、刃口半徑決定最小切屑、溫度讓機台自己膨脹，而矽原子間距比一支 0.1 mm 銑刀小約四十二萬五千倍。晶片圖案與極紫外光學面因此不靠銑刀完成。